製品の詳細

オプテオンSF10は、未来に向けた地球環境保護を目指し、極小地球温暖化係数を実現いたしました。フッ素溶剤の低毒性・低表面張力・低伝導率、不燃性の特徴を必要とする高機能用途への高パフォーマンスと地球温暖化原因の一つであるCO2削減に貢献いたします。

オプテオンSF10は、三井・ケマーズフロロプロダクツ社の国内工場で生産しております。国内生産により、安定供給でご提供いたします。

半導体製造関連における主な用途

チラー用冷媒として

使用可能温度範囲
※使用可能温度範囲:−80℃〜60℃

オプテオンSF10は、

  • ドライエッチャー
  • ウエハープローバー
  • PVD
  • インプラ
  • 露光装置

などの半導体製造装置のチラー用冷媒としてご使用いただけます。

洗浄剤として

エッチャー内部部品の漬け置き洗浄用として、また
エッチング後のチャンバー内の残渣拭き洗浄用としてご使用いただけます。

オプテオンSF10は沸点の高さから、各使用用途において現行品に比べ消耗が少なく済み、コストメリットの期待が持てます。また、労働環境の観点からも安全性の高い溶剤です。