ERS electronic GmbH社ホームページ https://www.ers-gmbh.com/

製品の特徴

広い温度範囲と温度範囲の調整

低温はー60℃から高温は300℃までの範囲でアプリケーションに合わせた温度範囲に調整し、ご提供することができます。

急速な温度上昇・下降

業界最速のチャック温度移行時間により、処理量(回数)を大幅に増やします
(例:+25℃⇔+150℃ 15~20分)

高度な温度均一性

高度なチャック面内温度均一性により、ウエハ上すべてのチップに同じ基本条件が適用されます。
チャック表面 面内温度均一性は±0.5℃以内です。

完全モジュラーシステム

完全モジュラー化されておりますので、ご使用温度範囲、オプション追加等、アプリケーションに合わせていつでも必要な時にアップグレードすることができます。

既存プローバーへの組み込みが容易

(組み込み実績例)
・Accretech:UF190,UF200…,UF300,UF3000…
・Tokyo Electron:P8XL,Precio Oct,P12XL,Precio
・Electroglas
・Cascade/SUSS
・ESI M350 他多数

Dynamic Thermal Shielding 

プローブカードを熱変形させないようチャックの放射熱から保護するシステム。

非磁性チャックシステム

磁性化しない材料を使用し、ヒーターは特別な方法でデザインされています。

超低ノイズチャックシステム

1桁fa(フェムトアンペア)内の超低ノイズ環境下で測定することができます。

高耐圧チャックシステム

3,000V、10,000V 耐圧チャック 

メンテナンスフリー

MTBFは5万時間以上です。

ランニングコストの大幅削減

液体冷媒使用のシステムと比較して、ランニングコスト(電気代、CDA消費量)を大幅に削減することができます。

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