ERSサーマルチャックが選ばれる7つの理由

1. チャック平坦度

-60℃ から +200℃ ≦ 8μm
高い剛性で多ピンプローブカードのコンタクト荷重に対応いたします。

2. 温度範囲

-65℃ から +400℃に対応。

3. 昇温・降温のスピード

+25℃ から -40℃ 30分
+25℃ から +150℃ 15分

4. 面内温度均一性

-60℃ から +200℃ ≦ ±0.5℃

5. 低ノイズ設計

フェムトアンペアレンヂでのテストが可能。

6. 平均故障間隔

50,000時間以上(約6年間)

7. 省スペース(チラー)

クリーンルーム内でのチラースペースの最小化。

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ERS electronic GmbH https://www.ers-gmbh.com/