ERS electronic GmbH社ホームページ https://www.ers-gmbh.com/
製品の特徴
広い温度範囲と温度範囲の調整
低温はー60℃から高温は300℃までの範囲でアプリケーションに合わせた温度範囲に調整し、ご提供することができます。
急速な温度上昇・下降
業界最速のチャック温度移行時間により、処理量（回数）を大幅に増やします
（例：＋25℃⇔＋150℃ 15～20分）
高度な温度均一性
高度なチャック面内温度均一性により、ウエハ上すべてのチップに同じ基本条件が適用されます。
チャック表面 面内温度均一性は±0.5℃以内です。
完全モジュラーシステム
完全モジュラー化されておりますので、ご使用温度範囲、オプション追加等、アプリケーションに合わせていつでも必要な時にアップグレードすることができます。
既存プローバーへの組み込みが容易
（組み込み実績例）
・Accretech:UF190,UF200…,UF300,UF3000…
・Tokyo Electron:P8XL,Precio Oct,P12XL,Precio
・Electroglas
・Cascade/SUSS
・ESI M350 他多数
Dynamic Thermal Shielding
プローブカードを熱変形させないようチャックの放射熱から保護するシステム。
非磁性チャックシステム
磁性化しない材料を使用し、ヒーターは特別な方法でデザインされています。
超低ノイズチャックシステム
1桁fa(フェムトアンペア)内の超低ノイズ環境下で測定することができます。
高耐圧チャックシステム
3,000V、10,000V 耐圧チャック
メンテナンスフリー
MTBFは5万時間以上です。
ランニングコストの大幅削減
液体冷媒使用のシステムと比較して、ランニングコスト(電気代、CDA消費量)を大幅に削減することができます。
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