ERSサーマルチャックが選ばれる7つの理由
1. チャック平坦度
-60℃ から +200℃ ≦ 8μm
高い剛性で多ピンプローブカードのコンタクト荷重に対応いたします。
2. 温度範囲
-65℃ から +400℃に対応。
3. 昇温・降温のスピード
+25℃ から -40℃ 30分
+25℃ から +150℃ 15分
4. 面内温度均一性
-60℃ から +200℃ ≦ ±0.5℃
5. 低ノイズ設計
フェムトアンペアレンヂでのテストが可能。
6. 平均故障間隔
50,000時間以上（約6年間）
7. 省スペース（チラー）
クリーンルーム内でのチラースペースの最小化。
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ERS electronic GmbH https://www.ers-gmbh.com/