各種ステッパー向けUVランプ
ステッパーに使用される各種UVショートアークランプや、洗浄、殺菌、表面改質などに使用される低圧UVランプ、エキシマランプ、高圧ランプまで各種ラインナップを取り揃えております。
各種UV照射装置・小型灯具
準備中
UVイレーサー
用途
フラシュメモリの電荷の除去、P-ROMのイレース
特徴
素子に紫外線を照射し、蓄積された電荷を放出させ、素子の特性を改善します。半導体の製造工程において、良好な素子特性を得て歩留まりを向上させるためには欠かす事のできない装置です。
処理温度は約100℃、低温で処理するためウエハーにダメージを与えません。使用するランプは低圧UVランプになります。（波長：254nm）